摘 要:为改善碳化硅(SiC)超结MOSFET体二极管的反向恢复特性并降低开关损耗,提出一种集成异质结二极管的超结MOSFET(SJH-MOSFET)新结构。该结构在栅槽底部引入与源极短接的P+多晶硅,与4H-SiC漂移区构成异质结续(试读)...